SLA5850D Brooks Instrument

SLA5850D Flow meter Brooks Instrument

hãng Brooks Instrument

Thông số kỹ thuật của SLA5850D

Dòng sản phẩm: Metal Seal Digital Thermal Mass Flow Controller/Meter
Hãng sản xuất: Brooks Instrument

1. Thông tin tổng quan

Thiết bị SLA5850D của Brooks Instrument, là giải pháp điều khiển và đo lưu lượng khí chính xác cao. Thiết bị này sử dụng công nghệ thermal mass flow với con dấu kim loại (metal seal) để đảm bảo độ kín tuyệt đối, phù hợp với các ứng dụng yêu cầu độ sạch cao như bán dẫn, nghiên cứu khoa học, và sản xuất dược phẩm.

2. Đặc điểm chính

• Kiểu thiết bị: Bộ điều khiển và đo lưu lượng khí bằng công nghệ nhiệt (thermal mass flow).
• Thiết kế con dấu:
  • Con dấu kim loại đảm bảo độ kín, phù hợp với môi trường áp suất và yêu cầu sạch cao.

3. Thông số kỹ thuật chi tiết

3.1. Hiệu suất đo lường

• Phạm vi lưu lượng:
  • Tùy chọn từ 0–3 sccm đến 0–30 slpm (tùy cấu hình).
• Độ chính xác:
  • ±0.5% của giá trị đo hoặc ±0.1% của toàn thang đo (tùy điều kiện).
• Độ lặp lại:
  • ±0.2% giá trị đo.
• Thời gian đáp ứng:
  • Dưới 300 ms để đạt trạng thái ổn định (95%).

3.2. Điều kiện hoạt động

• Nhiệt độ hoạt động:
  • 10°C đến 50°C.
• Áp suất làm việc tối đa:
  • 300 psig (20.7 bar).
• Dải áp suất chênh lệch:
  • 10–50 psid (0.7–3.4 bar), tùy thuộc vào dải lưu lượng và loại khí.

3.3. Khí đo

• Loại khí hỗ trợ:
  • Argon, Nitơ, Hydro, Helium, Oxide, hoặc các loại khí tùy chỉnh khác (tùy cấu hình đặt hàng).
• Tính tương thích khí:
  • Hỗ trợ khí sạch, không có tạp chất hoặc hơi dầu.

3.4. Đầu ra tín hiệu

• Tín hiệu analog:
  • 0–5 VDC hoặc 4–20 mA.
• Giao tiếp kỹ thuật số:
  • RS485 hoặc EtherCAT.
• Nguồn cấp:
  • ±15 VDC hoặc 24 VDC (tùy cấu hình).

3.5. Cấu tạo

• Vật liệu cấu tạo:
  • Thép không gỉ 316L với con dấu kim loại đảm bảo độ bền cao và chống ăn mòn.
• Cổng kết nối:
  • VCR 1/4 inch hoặc Swagelok® (tùy chọn đặt hàng).

3.6. Cấp bảo vệ

• Độ kín khí:
  • Đảm bảo độ rò rỉ thấp hơn 1 x 10⁻⁹ atm cc/sec He.
• Chứng nhận:
  • CE, RoHS, và SEMI F20.

4. Ứng dụng

1. Công nghiệp bán dẫn:
   • Điều khiển lưu lượng khí chính xác trong quá trình sản xuất vi mạch, lớp màng mỏng, và xử lý plasma.
2. Nghiên cứu và phát triển:
   • Đo lường và điều khiển lưu lượng trong phòng thí nghiệm hoặc các ứng dụng đặc thù.
3. Công nghiệp dược phẩm:
   • Đảm bảo độ chính xác và sạch sẽ trong các quy trình sản xuất thuốc và hóa chất.
4. Ứng dụng năng lượng sạch:
   • Sử dụng trong nghiên cứu và sản xuất pin nhiên liệu hoặc năng lượng tái tạo.

5. Ưu điểm nổi bật

1. Độ chính xác cao:
   • Công nghệ cảm biến nhiệt độ tiên tiến cho kết quả đo đáng tin cậy.
2. Thiết kế bền vững:
   • Con dấu kim loại chống rò rỉ và chịu được áp suất cao.
3. Tương thích linh hoạt:
   • Giao tiếp kỹ thuật số hiện đại, dễ dàng tích hợp với hệ thống tự động hóa.
4. Dễ sử dụng:
   • Tích hợp nhiều tùy chọn giao tiếp và tín hiệu đầu ra.

6. Thông tin bổ sung

• Phụ kiện tùy chọn:
  • Bộ điều hợp, cáp tín hiệu, và phần mềm giám sát lưu lượng.
• Tài liệu hỗ trợ:
  • Datasheet chi tiết, hướng dẫn sử dụng, và tài liệu hiệu chuẩn từ hãng Brooks Instrument.

Thiết bị SLA5850D là giải pháp tối ưu cho các ngành công nghiệp yêu cầu độ chính xác cao và độ sạch tuyệt đối.

valve-control-expert

website: https://valve-control-expert.com/

Xem thêm các sản phẩm tự động hóa

Xem thêm các thương hiệu tự động hóa

HOTLINE: 0903022087